特許
J-GLOBAL ID：200903060383498943
電子放出素子、電子源、画像形成装置の製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-348562
公開番号（公開出願番号）：特開2000-173453
出願日： 1998年12月08日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 高輝度で高品位な画像形成を可能とする画像表示装置の電子源として適用可能な電子放出素子を提供する。【解決手段】 素子電極2,3間に、電子放出部5を含む導電性膜4を有する電子放出素子の製造に際し、導電性膜4に高抵抗部からなる電子放出部5を形成した後、オレフィン系炭化水素と窒素から構成される混合気体中で、基板1を加熱しながら素子電極2,3間に電圧を印加して活性化処理を施す。
請求項（抜粋）：
基体上に形成された一対の電極間を接続する導電性膜の一部に間隙を形成する工程と、該間隙内の該基体上および、該導電性膜上に炭素を有する膜を形成する工程とを有し、該炭素を有する膜を形成する工程が、炭化水素ガスと、窒素ガスとを含むガスを前記間隙に接触させた状態で、前記基体を加熱しながら前記一対の電極間に電圧を印加する工程である、ことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02
, H01J 1/30
, H01J 29/04
, H01J 31/12
H01J 9/02 E
, H01J 1/30
, H01J 29/04
, H01J 31/12
5C031DD09
, 5C031DD17
, 5C031DD19
