特許

J-GLOBAL ID：200903060384517062

露光装置

発明者： 福留 康行 ,  山口 雅夫 ,  白石 貴志
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-040445
公開番号（公開出願番号）：特開平11-237568
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【課題】複数のビームを走査する露光装置において、各ビーム相互のずれを低減して画像を正確に重ね合わせ、色ずれまたは線画のぼけおよびにじみの生じない露光装置を提供する【解決手段】この発明の露光装置1は、各ビームの像面における光強度の変動が設計値に対して2%ないし-2%で、像面における各ビームのビーム径の変動が設計値に対して10%ないし-10%であり、ビーム相互間のビーム径の偏差、および光強度の偏差に起因する画質の劣化である解像度の低下および細線の間隔が不均一となる現象等の発生を、防ぐことができる。

請求項（抜粋）：

複数の光源と、この複数の光源からの光に所定の特性を与える偏向前光学手段と、この偏向前光学手段からの光を第1の方向へ偏向する偏向手段と、この偏向手段によって偏向された光を所定の像面に等速度で結像させるレンズと、を有する露光装置において、前記複数の光源のそれぞれが放射する光の像面での光強度の変動の偏差を所定の範囲としたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  G03G 15/04 111

FI (3件)：

G02B 26/10 B ,  G03G 15/04 111 ,  B41J 3/00 D