特許

J-GLOBAL ID：200903060391288206

ダイヤモンド状炭素フィルムの大型で低圧力のプラズマイオン付着

発明者： ウェイ、 ロングアー・アール ,  マトッシャン、 ジェス・エヌ
出願人/特許権者： エイチイー・ホールディングス・インコーポレーテッド・ドゥーイング・ビジネス・アズ・ヒューズ・エレクトロニクス
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-515142
公開番号（公開出願番号）：特表平10-500391
出願日： 1996年10月09日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：

【要約】排気され炭素質ガスを充填された付着装置(40)中において付着基体(46)上にダイヤモンド状炭素が付着される。プラズマ(68)は、容器(42)内のフィラメント(62)を加熱してガス中に電子を発生し、付着容器壁(44)に関してフィラメント(62)を正にバイアスして電子を炭素質ガス中へ加速することによって発生される。炭素質ガスは正に帯電された炭素イオンを発生するため結果として生じるプラズマ(68)を分解してイオン化する。容器(42)内の付着基体(46)は付着容器壁(44)に関して負にバイアスされ、炭素イオンを加速し、それによってこれらは基体(46)の表面に付着される。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド状炭素フィルムを付着基体に付着する方法において、 付着基体を設け、 約0.01乃至約10ミリトルの圧力を有し、付着基体に接触する炭素質のガス中においてプラズマを発生し、 プラズマから基体へダイヤモンド状炭素フィルムを付着し、基体は約300°Cを越えない温度に維持するステップを有する付着方法。

IPC (6件)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/32 ,  C01B 31/02 101 ,  H05H 1/46

FI (6件)：

C30B 29/04 W ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/32 ,  C01B 31/02 101 Z ,  H05H 1/46 A