特許
J-GLOBAL ID：200903060391549441
真空予備室のフラップ弁駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267862
公開番号（公開出願番号）：特開平10-089307
出願日： 1996年09月17日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】 安全弁が不要でしかもベント時の真空予備室の加圧を確実に防止することができるフラップ弁駆動装置を提供する。【解決手段】 このフラップ弁駆動装置は、フラップ弁4を開閉するための複動シリンダ26a、連結機構30、シリンダ制御回路34a、弁開機構44aおよび制御回路を備えている。連結機構30は、複動シリンダ26aの往復直線運動をフラップ弁4の開閉運動に変換する。シリンダ制御回路34aは、複動シリンダのピストン27を、フラップ弁4の閉位置および開位置にそれぞれ対応する2位置ならびに自由状態に制御する。弁開機構44aは、フラップ弁4にその開方向に常に力を加えていて、複動シリンダのピストン27が自由状態にあり、かつ真空予備室の圧力がほぼ大気圧になったときに、フラップ弁4が真空予備室側に吸引される力に抗して当該フラップ弁4を中間位置へ開く。制御回路は、ベント時に、複動シリンダのピストン27を自由状態にした後に真空予備室にベントガスを導入する制御を行う。
請求項（抜粋）：
真空に排気されることと、ベントガスを導入して大気圧にベントされることとが繰り返される真空予備室を大気中と仕切るフラップ弁の駆動装置において、前記フラップ弁を開閉するための複動シリンダと、この複動シリンダの往復直線運動を前記フラップ弁の開閉運動に変換する連結機構と、前記複動シリンダのピストンを、前記フラップ弁の閉位置および開位置にそれぞれ対応する2位置ならびに同ピストンの自由状態に制御するシリンダ制御回路と、前記フラップ弁にその開方向に常に力を加えていて、前記複動シリンダのピストンが自由状態にあり、かつ前記真空予備室の圧力がほぼ大気圧になったときに、前記フラップ弁が真空予備室側に吸引される力に抗して当該フラップ弁をその閉位置と開位置との間の中間位置へ開く弁開機構と、前記真空予備室のベント時に、前記シリンダ制御回路を制御して前記複動シリンダのピストンを自由状態にした後に前記真空予備室にベントガスを導入するように制御する制御回路とを備えることを特徴とする真空予備室のフラップ弁駆動装置。
IPC (6件)：
F15B 11/06
, F16K 31/122
, H01J 37/18
, H01J 37/317
, H01L 21/205
, H01L 21/265
F15B 11/06 M
, F16K 31/122
, H01J 37/18
, H01J 37/317 Z
, H01L 21/205
, H01L 21/265 D
