磁気軸受装置及びターボ型真空ポンプ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：渡邉勇 , 堀田信太郎 , 小杉良二 , 森友宏 , 廣澤哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-054281
公開番号（公開出願番号）：特開2005-240952
出願日： 2004年02月27日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】高温による回転軸の熱膨張の影響を少なくし、回転軸のアンバランスによる振れ回り量がアキシャル変位センサの出力値に重畳されることを防止し、回転軸の端部以外の場所にアキシャル変位センサを取付けることを可能として回転軸のアキシャル方向の位置を安定制御することができる磁気軸受装置を提供する。【解決手段】回転軸1を磁気浮上させる少なくとも一対のアキシャル磁気軸受5a,5bと、回転軸1のアキシャル方向の浮上位置を検出する少なくとも一つのアキシャル変位センサ6と、アキシャル変位センサ6の出力値に基づいて回転軸1が所定位置で磁気浮上するようにアキシャル磁気軸受5a,5bの励磁電流を制御する磁気軸受制御装置17とを備え、回転軸1の高温部位近傍に回転軸1と同心円状のセンサターゲット7を設け、センサターゲット7と対向する位置にアキシャル変位センサ6を配置した。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

回転軸を磁気浮上させる少なくとも一対のアキシャル磁気軸受と、該回転軸のアキシャル方向の浮上位置を検出する少なくとも一つのアキシャル変位センサと、該アキシャル変位センサの出力値に基づいて前記回転軸が所定位置で磁気浮上するように前記アキシャル磁気軸受の励磁電流を制御する磁気軸受制御装置とを備え、前記回転軸の高温部位近傍に前記回転軸と同心円状のセンサターゲットを設け、該センサターゲットと対向する位置に前記アキシャル変位センサを配置したことを特徴とする磁気軸受装置。

IPC (5件)：

F16C32/04 , F04D19/04 , F04D29/04 , G01B7/30 , H02K7/09

FI (5件)：

F16C32/04 A , F04D19/04 A , F04D29/04 M , G01B7/30 101Z , H02K7/09

Fターム (43件)：

2F063AA37 , 2F063BA03 , 2F063BD16 , 2F063CA28 , 2F063DA05 , 2F063DC08 , 2F063DD06 , 2F063GA03 , 2F063LA16 , 2F063LA23 , 2F063PA01 , 3H022AA02 , 3H022BA06 , 3H022CA16 , 3H022CA56 , 3H022DA08 , 3H022DA09 , 3H022DA12 , 3H031DA02 , 3H031EA09 , 3H031EA11 , 3H031EA15 , 3H031FA13 , 3J102AA01 , 3J102BA03 , 3J102BA18 , 3J102CA11 , 3J102CA27 , 3J102DA09 , 3J102DA10 , 3J102DA12 , 3J102DA18 , 3J102GA06 , 5H607AA03 , 5H607AA04 , 5H607BB01 , 5H607BB14 , 5H607CC07 , 5H607DD03 , 5H607DD15 , 5H607GG21 , 5H607HH01 , 5H607HH05

引用特許：

審査官引用 (9件)

磁気軸受装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-301207 出願人：セイコー精機株式会社
位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-251589 出願人：光洋精工株式会社
反発磁気浮上型回転装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-247326 出願人：三井造船株式会社

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