特許

J-GLOBAL ID：200903060400164540

ウエハー梱包方法

発明者： 長谷川 俊司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340606
公開番号（公開出願番号）：特開2002-145380
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】ダイシングフレームからダイシングテープが剥がれないようにする。【解決手段】取り付けフレームであるダイシングフレーム20が付いたウエハー12を有する梱包部材28を積み重ねて梱包箱24に収納するとき、この上下に積み重ねられるウエハーとウエハーとの間に、ダイシングフレームを固定し、上下のウエハーを分離するための中空円盤状の緩衝材30を挿入する。この緩衝材によって、上下のダイシングフレームを隙間なく積み重ねることができるから、輸送中ダイシングフレームに衝撃や振動が加えられても、ダイシングフレームに余分な力が加わることがない。その結果、ダイシングフレームからダイシングテープを剥がすような余分な力が加わらないので、ダイシングフレームからダイシングテープの一部が不用意に剥離することはない。

請求項（抜粋）：

ウエハーが取り付けられた梱包部材を積み重ねて梱包箱内に収納するに当たり、上記梱包部材の間に緩衝材を挟んで積み重ねるようにしたことを特徴とするウエハー梱包方法。

IPC (3件)：

B65D 85/86 ,  B65D 81/107 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R ,  B65D 81/04 ,  B65D 85/38 S

Fターム (23件)：

3E066AA12 ,  3E066BA01 ,  3E066CA01 ,  3E066HA05 ,  3E066JA01 ,  3E066LA19 ,  3E066MA09 ,  3E066NA43 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA05 ,  3E096CB01 ,  3E096DA03 ,  3E096DB08 ,  3E096EA02Y ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096GA11 ,  5F031CA02 ,  5F031DA05 ,  5F031DA12 ,  5F031DA13