固体撮像素子及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-333625
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226496
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】 CCD固体撮像素子におけるスミア成分の低減化を図る。【構成】マトリックス状に配列された複数の受光部10と、各受光部列毎に配された転送電極16を有する垂直転送レジスタ5と、垂直転送レジスタ5上に転送電極16に接続されたシャント用配線層33を有し、シャント用配線層33を覆う層間絶縁層37を介して受光部10を囲うように遮光層38を形成し、この遮光層38の受光部10側へのはり出し部38a下には上記層間絶縁層37を形成しないようにして構成する。

請求項（抜粋）：

マトリックス状に配列された複数の受光部と、該各受光部列毎に配された転送電極を有する垂直転送レジスタと、前記垂直転送レジスタ上に前記転送電極に接続されたシャント用配線層を有し、前記シャント用配線層を覆う層間絶縁層を介して少なくとも垂直方向の受光部間に遮光層が形成され、該遮光層の前記受光部側にはり出すはり出し部下には前記層間絶縁層が形成されないことを特徴とする固体撮像素子。

引用特許：

審査官引用 (12件)

固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-179212 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-363064
特開平4-056273

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