特許
J-GLOBAL ID:200903060405599889

レーザ発振装置およびパルスレーザ光の発振方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-295242
公開番号(公開出願番号):特開平8-153924
出願日: 1994年11月29日
公開日(公表日): 1996年06月11日
要約:
【要約】【目的】 この発明は繰り返し周波数の変更にともないQスイッチ素子に印加するRF信号出力を最適に制御できるレーザ発振装置を提供することにある。【構成】 光共振器1から発振出力されるパルスレーザ光のピーク値を検出する光電変換素子11と、光共振器1内のQスイッチ素子7にRF信号を断続的に印加するドライバ8と、パルスレーザ光の繰り返し周波数を変えたときにRF信号を所定量ずつ増加あるいは減少させ光電変換素子によって検出されるn番目のパルスレーザ光のピーク値Pn と n-1番目のパルスレーザ光のピーク値Pn-1 とを比較する波形比較器12と、ピーク値Pn と値Pn-1 との関係がPn >Pn-1 のときにはドライバに印加する電圧を所定量ずつ増加または減少させ、Pn <Pn-1 のときにはドライバに印加する電圧をn-1 番目のときの値に設定するRFコントローラ13とを具備したことを特徴とする。
請求項(抜粋):
光共振器内に設けられたレーザ媒質を励起してパルスレーザ光を発振出力させるレーザ装置において、上記光共振器内に設けられたQスイッチ素子と、上記光共振器から発振出力されるパルスレーザ光のピーク値を検出する検出手段と、上記Qスイッチ素子にRF信号を断続的に印加して駆動し上記光共振器の損失を変化させるドライバと、上記パルスレーザ光の繰り返し周波数を変えたときに上記Qスイッチ素子に印加するRF信号を所定量ずつ増加あるいは減少させることで上記検出手段によって検出されるn番目のパルスレーザ光のピーク値Pn と n-1番目のパルスレーザ光のピーク値Pn-1 とを比較する比較手段と、この比較手段で比較されたn番目のパルスレーザ光のピーク値Pn と n-1番目のパルスレーザ光のピーク値Pn-1 との関係がPn >Pn-1 のときには上記ドライバに印加する電圧を所定量ずつ増加または減少させ、Pn <Pn-1 のときには上記ドライバに印加する電圧をn-1 番目のときの値に設定する制御手段とを具備したことを特徴とするレーザ発振装置。
IPC (2件):
H01S 3/11 ,  H01S 3/16

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