特許

J-GLOBAL ID：200903060407015540

エッチレートが高速化されたエッチング液

発明者： 毛塚 健彦 ,  陶山 誠 ,  板野 充司
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 三枝 英二 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332911
公開番号（公開出願番号）：特開2000-160367
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】エッチレートが高速化されたエッチング液を提供する。【解決手段】 フッ化水素及びフッ化アンモニウムを含有する水溶液であって、さらに他の塩を含有するエッチング液。

請求項（抜粋）：

フッ化水素及びフッ化アンモニウムを含有する水溶液であって、さらに他の塩を含有することを特徴とするエッチング液。

IPC (3件)：

C23F 1/24 ,  C09K 13/08 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

C23F 1/24 ,  C09K 13/08 ,  H01L 21/308 B

Fターム (17件)：

4K057WA10 ,  4K057WB06 ,  4K057WE01 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE07 ,  4K057WE08 ,  4K057WE09 ,  4K057WE11 ,  4K057WF01 ,  4K057WN01 ,  5F043AA02 ,  5F043AA32 ,  5F043AA36 ,  5F043BB22 ,  5F043BB24 ,  5F043BB28