特許

J-GLOBAL ID：200903060410316194

蒸着装置

発明者： 東 恵美子 ,  大工 博之
出願人/特許権者： 日立造船株式会社
代理人 (3件)： 原田 洋平 ,  森本 義弘 ,  笹原 敏司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-153622
公開番号（公開出願番号）：特開2009-299115
出願日： 2008年06月12日
公開日（公表日）： 2009年12月24日
要約：

【課題】蒸着材料の加熱による性状劣化を防止して長時間の運転を行い得る蒸着装置を提供する。【解決手段】容器本体4に充填された蒸着材料を蒸発させる蒸発用容器5及び蒸発した蒸着材料を材料移送管6を介して導きガラス基板Kの表面に蒸着させる蒸着用容器3を具備する蒸着装置であって、下側本体部4B内の蒸着材料を冷却水により冷却する冷却用ジャケット14を設けるとともに、上側本体部4Aと下側本体部4Bとの接続部分に断熱材8を配置し、材料移送管6及び上側本体部4Aを加熱する電熱線12を設けると共に、容器本体4内に充填された蒸着材料を、上記電熱線12により加熱された材料移送管6の内壁面からの輻射熱及び上側本体部4Aに設けられた電熱線12により加熱し蒸発させるようにしたもの。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

容器本体に充填された蒸着材料を蒸発させる蒸発用容器および蒸発した蒸着材料を材料移送管を介して導き被蒸着部材の表面に蒸着させる蒸着用容器を具備する蒸着装置であって、 上記容器本体を上側本体部と下側本体部とに分割するとともに、上記下側本体部に蒸着材料を冷却する冷却手段を設け、 上記上側本体部と上記下側本体部との接続部分に断熱材を配置し、 上記材料移送管および上記上側本体部を加熱する加熱手段を設けるとともに、上記容器本体内に充填された蒸着材料を、上記加熱手段により加熱された材料移送管表面からの輻射熱および上記上側本体部に設けられた加熱手段により、加熱させるようにしたことを特徴とする蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 B

Fターム (6件)：

4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029CA01 ,  4K029DA03 ,  4K029DB12 ,  4K029DB18

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-155383   出願人：日立造船株式会社