特許
J-GLOBAL ID：200903060413184116
ウエハ温度測定方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-254642
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067662
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】反応容器内で所定の処理を受けるウエハの温度を正確に測定し、最適・高精度な温度制御を可能とする。【構成】下部電極16の上面に、所定の間隔を置いて形成された複数(たとえば一対)のプローブ収容穴24にそれぞれプローブ26が上向きに配設される。各プローブ26は、円筒状のプローブ本体からプローブ針を突出させたもので、プローブ本体の底部に設けたバネによって該プローブ針を垂直方向に弾力的に支持している。下部電極16上にシリコンウエハ20が置かれると、各プローブ26のプローブ針先端が適度の加圧力でシリコンウエハ20の下面に接触する。各プローブ26は、下部電極16を貫通するケーブル28を介して反応容器10の外に配置されたウエハ温度モニタ装置30に接続される。
請求項（抜粋）：
反応容器内の所定位置に配置されたウエハの温度を測定するための方法において、前記ウエハの抵抗率を測定し、前記ウエハ抵抗率の測定値を基に前記ウエハの温度を算出することを特徴とするウエハ温度測定方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01K 7/00
, H01L 21/302
