特許
J-GLOBAL ID：200903060425977170
レーザビーム位置補正装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲柳▼川 信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-195964
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018815
出願日： 1991年07月10日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 高精度なビーム位置の補正を可能とする。【構成】 一部反射型反射鏡4は全反射鏡3aから入射されたレーザ光100の一部を反射してスクリーン7に出射し、このスクリーン7上での照射位置、つまりレーザ光100 の位置変位がビーム位置検出器11で検出される。一部透過型反射鏡5aは一部反射型反射鏡4を透過した大部分のレーザ光100 を反射し、一部透過型反射鏡6を介してスクリーン8に出射し、このスクリーン8上での照射位置、つまりレーザ光100 の位置変位がビーム位置検出器12で検出される。角度誤差演算回路15はビーム位置検出器11,12で検出されたレーザ光100 の位置変位から角度補正量を算出する。ジンバル駆動回路16,17は角度誤差演算回路15で算出された角度補正量に基づいて自動ミラージンバル3b,5bを駆動し、全反射鏡3aおよび一部透過型反射鏡5aを回動させる。
請求項（抜粋）：
レーザ光源から出射され、照射方向が第1および第2のビーム方向変更手段で変更されたレーザ光の光軸が予め設定された基準位置に一致するよう補正するレーザビーム位置補正装置であって、前記第1および第2のビーム方向変更手段の間に設けられ、前記第1のビーム方向変更手段からの前記レーザ光を分光する分光手段と、前記分光手段で分光されたレーザ光を受光する第1のスクリーンと、前記第1のスクリーンの前記レーザ光の受光位置から前記基準位置に対する前記レーザ光の光軸の位置を検出する第1のビーム位置検出手段と、前記分光手段で分光され、前記第2のビーム方向変更手段で前記照射方向が変更されたレーザ光を受光する第2のスクリーンと、前記第2のスクリーンの前記レーザ光の受光位置から前記基準位置に対する前記レーザ光の光軸の位置を検出する第2のビーム位置検出手段と、前記第1および第2のビーム位置検出手段の検出結果に応じて前記第1および第2のビーム方向変更手段を制御する制御手段とを有することを特徴とするレーザビーム位置補正装置。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01M 11/00
, G02B 26/08
