特許
J-GLOBAL ID：200903060430753370
インゴット加工法およびそれに用いる装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-272084
公開番号（公開出願番号）：特開平10-120500
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：
【要約】【課題】インゴットを加工する場合に、材料無駄が最小限に抑えられ、しかも衛生的で煩雑な手間もかからない、優れたインゴット加工方法およびそれに用いる装置を提供する。【解決手段】結晶インゴット2の加工予定部に、外筒3と内筒4からなる二重筒1を位置決めし、上記外筒3と内筒4のうち一方の筒の先端開口から、その結晶インゴット2の構成成分に対し高エッチング特性を示すエッチング流体を供給して上記エッチング流体と結晶インゴット2の加工予定とを化学反応させることによりエッチング加工を行うとともに、上記外筒3と内筒4のうち他方の筒の先端開口から、上記化学反応後の不用流体を吸引除去するようにした。
請求項（抜粋）：
結晶インゴットを加工する方法であって、上記結晶インゴットの加工予定部に、外筒と内筒からなる二重筒を位置決めし、上記外筒と内筒のうち一方の筒の先端開口から、その結晶インゴットの構成成分に対し高エッチング特性を示すエッチング流体を供給して上記エッチング流体と結晶インゴットの加工予定部とを化学反応させることによりエッチング加工を行うとともに、上記外筒と内筒のうち他方の筒の先端開口から、上記化学反応後の不用流体を吸引除去するようにしたことを特徴とするインゴット加工法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C30B 33/10
, H01L 21/302 P
, H01L 21/306 B
