特許

J-GLOBAL ID：200903060437173760

ブラックマトリクス、カラーフィルタ基板、これらの製造方法、及び液晶素子

発明者： 岩田 研逸 ,  坂本 淳一 ,  鈴木 博幸 ,  小佐野 永人 ,  吉村 文孝
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074730
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268803
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルタ内にブラックマトリクス残渣がなく、信頼性の高いカラーフィルタ基板を安価に提供する。【解決手段】 黒色材料を内添した感光性樹脂層2を透明基板1上に形成して、フォトリソグラフィ工程によりブラックマトリクス4をパターニングする際に、現像液濃度を高濃度から低濃度へ推移させて現像を行ない、さらに、界面活性剤を添加したリンス液を用いてリンスを行なう。

請求項（抜粋）：

黒色材料を添加した感光性樹脂層をフォトリソグラフィ工程でパターニングすることによりブラックマトリクスを製造する方法であって、上記感光性樹脂層の現像工程において、現像液濃度を高濃度から低濃度へと推移させて現像を行なうことを特徴とするブラックマトリクスの製造方法。

IPC (5件)：

G09F 9/35 302 ,  G02B 5/00 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G09F 9/00 321

FI (5件)：

G09F 9/35 302 ,  G02B 5/00 B ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G09F 9/00 321 E