特許
J-GLOBAL ID：200903060439569229
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-349595
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185579
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 自励駆動を行う構造であって、感度が温度に依存しない温度特性の優れた半導体振動型角速度センサを提供すること。【解決手段】 この角速度センサは、従来の角速度センサと比べ、ガラス基板6にシリコン基板5を接合した基本構成を共通するが、一対の振動子9,10間にモニタ用電極1が設けられ、このモニタ用電極1からの静電容量出力を電圧に変換して一対の振動子9,10を励振させるための一対の電極8b,8cへ正帰還して自励駆動する自励駆動手段を備えた点が相違している。ここでの自励駆動手段は、モニタ用電極1からの静電容量出力を電圧に変換して容量電圧信号を出力する容量/電圧変換回路と、容量電圧信号を増幅して所定の電圧値に設定した増幅容量電圧信号として出力する増幅器と、増幅容量電圧信号に所定の位相差を付加した励振駆動電圧を一対の電極8b,8cへ正帰還する位相器とから成る。
請求項（抜粋）：
静電容量を成す一対の振動子を第1の方向に励振させるための一対の電極を含む駆動手段と、前記一対の振動子の回転運動によるコリオリ力によって前記第1の方向と垂直な第2の方向に生じる振動を検出する検出手段とを含み、該回転運動における該静電容量の変化に基づいて角速度を検出する角速度センサにおいて、前記一対の振動子間に設けられたモニタ用電極と、前記静電容量の変化を示す前記モニタ用電極からの静電容量出力を電圧に変換して前記一対の電極へ正帰還することにより前記一対の振動子を自励発振させて励振駆動する自励駆動手段とを備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 21/00
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 21/00
