特許

J-GLOBAL ID：200903060439873904

真空成膜装置

発明者： 菊池 順
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-100104
公開番号（公開出願番号）：特開2004-307889
出願日： 2003年04月03日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】本発明は、シート状のフレキシブル基材を成膜ドラムに巻き付けて成膜する真空成膜装置において、シート状のフレキシブル基材を成膜ドラムに巻き付けて基材に張力を付与して保持し、真空中で繰返し成膜し、成膜中に成膜面がローラ及びシートに触れない、成膜面の品質、生産性に優れる、真空成膜装置を提供することを目的とする。【解決手段】シート状のフレキシブル基材を成膜ドラムに巻き付けて成膜する真空成膜装置であって、前記成膜ドラムに、フレキシブル基材を巻き付けて成膜中に該基材に張力を付与して保持する手段を具備することを特徴とする真空成膜装置である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シート状のフレキシブル基材を成膜ドラムに巻き付けて成膜する真空成膜装置であって、 前記成膜ドラムに、フレキシブル基材を巻き付けて成膜中に該基材に張力を付与して保持する手段を具備することを特徴とする真空成膜装置。

IPC (2件)：

C23C14/56 ,  C23C16/54

FI (2件)：

C23C14/56 B ,  C23C16/54

Fターム (23件)：

4D075BB85Z ,  4D075CA22 ,  4D075CA42 ,  4D075CA47 ,  4D075CB02 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB31 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EB01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029CA13 ,  4K029JA10 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030CA17 ,  4K030GA14 ,  4K030KA20