特許

J-GLOBAL ID：200903060440130257

セラミックヒータ

発明者： 内村 英樹 ,  小野 浩司
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-340123
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180866
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】従来のセラミックヒータでは、高温強度が低く、高温下での耐酸化性が低く、耐久性の低いものであった。【解決手段】絶縁性セラミックス2と発熱抵抗体3を具備するセラミックヒータ1において、絶縁性セラミックス2を、窒化珪素を80〜92モル%と、第3a族元素(RE)を酸化物換算で2〜5mol%と、不純物的酸素を酸化珪素(SiO2 )換算で6〜15mol%の組成からなるとともに、SiO2 /RE2 O3 で表されるモル比が2〜5の範囲の組成からなる主成分100重量部に対して、W、Ta、Moの炭化物、窒化物、ケイ化物、酸化物のうち少なくとも1種以上を0.2〜5重量部の割合で含有し、窒化珪素結晶相を主相とし、該主相の粒界が主としてダイシリケート(RE2 Si2 O7 )結晶相を含む焼結体により構成する。

請求項（抜粋）：

絶縁性セラミックスと、発熱抵抗体を具備するセラミックヒータにおいて、前記絶縁性セラミックスが、窒化珪素を80〜92モル%と、周期律表第3a族元素(RE)を酸化物換算で2〜5mol%と、不純物的酸素を酸化珪素(SiO2 )換算で6〜15mol%の組成からなるとともに、前記不純物的酸素の酸化珪素(SiO2 )換算量と周期律表第3a族元素の酸化物(RE2O3 )換算量とのSiO2 /RE2 O3 で表されるモル比が2〜5の範囲の組成からなる主成分100重量部に対して、W、Ta、Moの炭化物、窒化物、ケイ化物、酸化物のうち少なくとも1種以上を0.2〜5重量部の割合で含有する窒化珪素焼結体であって、窒化珪素結晶相を主相とし、該主相の粒界が主としてダイシリケート(RE2 Si2 O7 )結晶相を含むことを特徴とするセラミックヒータ。