特許

J-GLOBAL ID：200903060441870947

リッジ型三次元光導波路とその製造方法

発明者： 袁 本鎮 ,  平松 靖二
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-067283
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273418
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】本発明は幾何的形状因子による伝搬損失を低減させ、低伝搬損失リッジ型三次元導波路の作製を目指すものである。【構成】 単一分極化された誘電体材料の少なくとも一部分の分極方向を反転させエッチングによりリッジ構造を形成した後、光導波路を形成するか、二次元導波路上の少なくとも一部分の分極方向を反転させエッチングにより三次元導波路を形成するリッジ型三次元導波路の製造方法。

請求項（抜粋）：

単一分極化された誘電体材料上にリッジ型導波路を形成すると共に、そのリッジ部の分極方向が当該リッジ部以外のスラブ部における分極方向とは逆向きに形成されてなるるリッジ型三次元光導波路。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-335328
  
• 特開平2-138885
  
• 特開昭62-067469
  
• 特開平2-130483