弾性表面波素子電極

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：並木昭夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160514
公開番号（公開出願番号）：特開平6-006173
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】耐電力性が高く、しかも内部損失が少ない、即ち特性良好で長寿命な弾性表面波素子電極を提供する。【構成】電極膜の微細構造において、電極膜のX線回折分析における(電極膜の主材料の第1ピ-ク強度)/(電極膜の主材料の第2ピ-ク強度)の値を100以下にし、または、電極膜の平均結晶粒径を電極幅Wの1/50〜1/5にし、電極膜材料組成としてAlxMy(ただし、MはTi,Pd,Cu,Nb,Ni,等の中の少なくとも1つであり、x,yはwt%表示で0≦y≦20,x+y=100)にすることにより、耐電力性を向上させ内部損失を軽減させる。

請求項（抜粋）：

圧電性基板上に金属薄膜よりなる膜状の電極を形成して成る弾性表面波素子の該電極において、膜状の該電極に対してX線回折分析を行った際、該電極を構成する主材料について得られる第1ピーク強度と第2ピーク強度の比、即ち(第1ピーク強度/第2ピーク強度)の値が、100以下であることを特徴とする弾性表面波素子電極。

IPC (2件)：

H03H 9/25 , H03H 9/64

引用特許：

審査官引用 (36件)

特開平3-014305
特開平3-048511
特開平4-003510

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