特許
J-GLOBAL ID：200903060446795129
走査光学式寸法測定器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244729
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003116
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 発光手段と発光手段からの光束を平行な走査光束に変換する走査ミラー及びコリメータレンズと、走査光束を受光する受光素子とを備えて、被測定物体による走査光束の遮断時間から被測定物体の寸法を測定する走査光学式寸法測定器において、寸法測定精度を容易に且つ確実に向上させることができる。【構成】 走査光束を受光する一対の補正用受光素子6a,6bを所定間隔で配設する。もしくは走査光束を周期的に受光する補正用受光素子6を配設する。そして補正用受光素子の前段に、補正用受光素子に入射する光束を絞る補正レンズ7とスリット板8とを配設する。
請求項（抜粋）：
発光手段と発光手段からの光束を平行な走査光束に変換する走査ミラー及びコリメータレンズと、走査光束を受光する受光素子とを備えて、被測定物体による走査光束の遮断時間から被測定物体の寸法を測定する走査光学式寸法測定器において、走査光束を受光する一対の補正用受光素子を所定間隔で配設するとともに、これら補正用受光素子の前段に、補正用受光素子に入射する光束を絞る補正レンズとスリット板とを配設していることを特徴とする走査光学式寸法測定器。
IPC (2件)：
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