感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久米英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042579
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241968
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】ソルダーレジストとして要求される高感度で高解像度の光反応性を有し、はんだ耐熱性、電気絶縁性、耐薬品性、密着性の良好な被膜形成が可能で、かつ、環境問題や火災危険性に関しても有利な液状ソルダーレジスト組成物を提供する。【解決手段】不飽和含有ポリカルボン酸系オリゴマー(A)、感光性モノマー(B)、光重合開始剤(C)を主成分とする感光性樹脂組成物において、不飽和基含有ポリカルボン酸系オリゴマー(A)のカルボン酸を、1分子中にエチレン性不飽和基を有する第3級アミンで中和したもの(A’)であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

不飽和基含有ポリカルボン酸系オリゴマー(A)、感光性モノマー(B)、光重合開始剤(C)を主成分とする感光性樹脂組成物において、不飽和基含有ポリカルボン酸系オリゴマー(A)のカルボン酸を、1分子中にエチレン性不飽和基を有する第3級アミンで中和したもの(A’)であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/027 511 , C08G 59/17 , H05K 3/28

FI (3件)：

G03F 7/027 511 , C08G 59/17 , H05K 3/28 D

Fターム (42件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA20 , 2H025AB15 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC15 , 2H025BC34 , 2H025BC43 , 2H025BC74 , 2H025CA00 , 2H025CB19 , 2H025CB30 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J036AA01 , 4J036AA05 , 4J036DC19 , 4J036DC31 , 4J036DC41 , 4J036EA04 , 4J036FB03 , 4J036FB09 , 4J036HA02 , 4J036JA10 , 5E314AA27 , 5E314AA32 , 5E314CC02 , 5E314CC03 , 5E314CC07 , 5E314DD06 , 5E314DD07 , 5E314FF01 , 5E314GG03 , 5E314GG10 , 5E314GG11 , 5E314GG14 , 5E314GG26

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