特許
J-GLOBAL ID:200903060450912776
感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性フィルム
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西藤 征彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-105463
公開番号(公開出願番号):特開2001-290266
出願日: 2000年04月06日
公開日(公表日): 2001年10月19日
要約:
【要約】【課題】高解像度で、テント膜強度が高く、レジスト剥離性に優れた感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性フィルムを提供する。【解決手段】バインダー成分(A)、モノマー成分(B)および光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物である。そして、上記モノマー成分(B)が、少なくとも下記の一般式(1)で表される化合物(B1)を含有している。【化1】
請求項(抜粋):
バインダー成分(A)、モノマー成分(B)および光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物であって、上記モノマー成分(B)が、少なくとも下記の一般式(1)で表される化合物(B1)を含有していることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】
IPC (9件):
G03F 7/027 513
, G03F 7/027 502
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, C08F 20/36
, C08F290/06
, G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/033
FI (9件):
G03F 7/027 513
, G03F 7/027 502
, C08F 2/44 C
, C08F 2/50
, C08F 20/36
, C08F290/06
, G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/033
Fターム (90件):
2H025AA00
, 2H025AA02
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC45
, 2H025CA01
, 2H025CA14
, 2H025CA28
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025DA01
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA40
, 2H025FA43
, 2H025FA48
, 4J011PA65
, 4J011PA69
, 4J011PC02
, 4J011PC08
, 4J011QA03
, 4J011QA06
, 4J011QA12
, 4J011QA13
, 4J011QA23
, 4J011QA24
, 4J011QA34
, 4J011QB16
, 4J011QB19
, 4J011SA22
, 4J011SA25
, 4J011SA28
, 4J011SA29
, 4J011SA32
, 4J011SA34
, 4J011SA54
, 4J011SA63
, 4J011SA78
, 4J011SA83
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011WA01
, 4J027AC02
, 4J027AC03
, 4J027AC06
, 4J027AC09
, 4J027AE04
, 4J027AJ08
, 4J027BA08
, 4J027BA14
, 4J027BA17
, 4J027BA19
, 4J027BA20
, 4J027BA21
, 4J027BA23
, 4J027BA26
, 4J027BA28
, 4J027CA02
, 4J027CA03
, 4J027CB10
, 4J027CC05
, 4J027CD10
, 4J100AL08Q
, 4J100AL09Q
, 4J100AL62Q
, 4J100AL63Q
, 4J100AL66P
, 4J100AL66Q
, 4J100AM21Q
, 4J100BA02P
, 4J100BA02Q
, 4J100BA03Q
, 4J100BA08P
, 4J100BA08Q
, 4J100BA16Q
, 4J100BA34P
, 4J100BA65Q
, 4J100BB01Q
, 4J100BC04P
, 4J100BC43P
, 4J100BC43Q
, 4J100BC45Q
, 4J100CA06
, 4J100FA03
, 4J100JA38
引用特許:
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