円筒鏡面型エネルギ-分析器

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059832
公開番号（公開出願番号）：特開平6-162991
出願日： 1987年04月17日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】高分解能によるエネルギー分析と高感度によるエネルギー分析を選択的に切換え可能とすること及び高分解能によるエネルギー分析時に、分解能を向上させること【構成】高分解能によるエネルギー分析時、第2のスリット10をスリット移動棒11によって電子軌道上に挿入する。試料1より放射され、CMAで分光されたオージェ電子の内、出射開口部4bを出射したオージェ電子の可変スリット7付近における軌道収差は、小さくなっている。この状態で、可変スリット7のスリット幅lを小さく設定すれば、分解能が飛躍的に向上する。分解能をあまり要求されない高感度のエネルギ-分析時には、第2のスリット10を電子軌道上から外す。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線の試料への照射により発生する電子を同軸上に配置された内円筒電極と外円筒電極間に導き、該両電極によってエネルギ-分析された電子を前記内円筒電極に形成された開口部と電子線検出器の間に設けられたスリットによって制限して検出するように構成された装置において、前記開口部と前記スリットの間に第2のスリットを配置すると共に、該第2のスリットを電子線軌道中に挿脱するための操作手段を大気側に設けたことを特徴とする円筒鏡面型エネルギ-分析器。

IPC (7件)：

H01J 49/48 , H01J 37/05 , H01J 37/09 , H01J 37/244 , H01J 37/252 , H01J 49/06 , G01N 23/227

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