熱処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾川秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-057744
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252017
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】熱処理装置、例えば拡散装置において、外気中のガス状物質が熱処理装置内部に侵入するのを防止する。【構成】熱処理室へ流入するエアー通路にガス状物質を捕獲するケミカルフィルタ10を設ける。

請求項（抜粋）：

熱処理室へ流入するエアー通路にガス状物質を捕獲するケミカルフィルタを設けたことを特徴とする熱処理装置

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