特許

J-GLOBAL ID：200903060460489383

微小構造物加工装置

発明者： 小川 治男
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-070049
公開番号（公開出願番号）：特開平7-251328
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 被加工物の材質を選ぶこと無く高精度な加工を施すことができる微小構造物加工装置を提供することを目的とする。【構成】 被加工物9を加工するための加工ツール1と、この加工ツール1を支持し且つ微小に振動させる振動部2と、前記加工ツール1から前記被加工物9に働く荷重を検出するための荷重検出部3と、この荷重検出部3の検出値が常時一定の荷重となるよう前記加工ツール1を荷重方向に微動させる微動機構部4と、前記被加工物9に対する加工点を移動させるための加工ツールステージ5と、前記被加工物9を支持するサンプルステージ6と、ステージ制御部7とを備える。

請求項（抜粋）：

被加工物を加工するための加工ツールと、この加工ツールを支持し且つ微小に振動させる振動部と、前記加工ツールから前記被加工物に働く荷重を検出するための荷重検出部と、この荷重検出部の検出値が常時一定の荷重となるよう前記加工ツールを荷重方向に微動させる微動機構部と、前記被加工物に対する加工点を移動させるための加工ツールステージと、前記被加工物を支持するサンプルステージと、ステージ制御部とを備えた微小構造物加工装置。

IPC (2件)：

B23P 17/02 ,  B23Q 15/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-142002
  
• 特開昭63-216601
  
• 特開昭55-144902