特許
J-GLOBAL ID：200903060462744623
配線ショート箇所検出方法及びその検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-341715
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162283
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：
【要約】【課題】 少ないデータ量で、高速に配線ショート箇所を検出することができる配線ショート箇所検出方法を提供する。【解決手段】 LSIが有する配線の配置情報を設計データより抽出する抽出工程と、LSIのテストベクタ毎の各配線の論理レベルを演算するシミュレーション工程と、配置情報と論理レベルを基に、各配線が論理レベルにより色分けされた画像をテストベクタ毎に生成する画像生成工程と、LSIのテストベクタ毎の異常電源電流を検出する異常電源電流検出工程と、テストベクタ毎の画像と異常電源電流の有無の情報より画像処理を用いて配線ショート箇所を検出する配線ショート箇所検出工程と、を有する。
請求項（抜粋）：
LSIが有する配線の配置情報を設計データより抽出する抽出工程と、前記LSIのテストベクタ毎の各配線の論理レベルを演算するシミュレーション工程と、前記配置情報と前記論理レベルを基に、前記各配線が電圧により色分けされた画像をテストベクタ毎に生成する画像生成工程と、前記LSIの前記テストベクタ毎の異常電源電流を検出する異常電源電流検出工程と、前記テストベクタ毎の画像と異常電源電流の有無の情報より画像処理を用いて配線ショート箇所を検出する配線ショート箇所検出工程と、を有することを特徴とする配線ショート箇所検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 F
, G01R 31/02
2G014AA03
, 2G014AB59
, 2G014AC07
, 2G014AC15
, 2G032AC08
, 2G032AD08
, 2G032AD10
, 2G032AE09
, 2G032AL14
, 9A001JJ48
, 9A001KK31
