特許

J-GLOBAL ID：200903060463109190

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者： 沢辺 賢 ,  中村 三佳 ,  立木 繁雄
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121111
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325398
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】 レジスト形状が良好で、剥離片が微細で、金属表面との密着性、耐めっき性、可とう性等に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供する。【構成】 (A)カルボキシル基含有ビニル単量体、スチレン類及び他のビニル単量体を共重合して得た高分子化合物であって、重量平均分子量120,000〜300,000の高分子化合物(A1)と重量平均分子量10,000〜100,000の高分子化合物(A2)を少なくとも1種ずつ含む混合物、(B)エチレン性不飽和化合物並びに(C)光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物と前記組成物の層を支持体上に積層した感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

(A)(a)カルボキシル基を有するビニル単量体15〜40重量部、(b)一般式(I)【化1】〔式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は水素原子、メチル基、エチル基、メトキシ基、エトキシ基、塩素原子又は臭素原子を表す〕で示される単量体5〜85重量部及び(c)上記(a)及び(b)成分以外のビニル単量体0〜80重量部を(a)、(b)及び(c)成分の総量が100重量部となる量で共重合して得られる高分子化合物であって、重量平均分子量が120,000〜300,000の高分子化合物(A1)と重量平均分子量が10,000〜100,000の高分子化合物(A2)を少なくとも1種ずつ含有する混合物、(B)エチレン性不飽和化合物並びに(C)光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18