特許
J-GLOBAL ID：200903060472919049

X線発生装置及び露光装置

発明者：
近藤 洋行

近藤 洋行 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-026540
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229298
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 プラズマを含む容器の内壁からの反射・散乱を低減し、容器内に収納されている部品の温度上昇を抑制することのできるX線発生装置を提供する。【解決手段】 本発明のX線発生装置は、真空容器107を具備し、該真空容器107に組み込まれたガラス製の窓102を通してレーザ光源から放出されたパルスレーザ光100が標的材料上に集光され、プラズマ104が生成され、このプラズマ104からX線が輻射される。真空容器107の内側に、カーボンブラック膜108が形成されている。これにより、真空容器107内壁からの赤外からX線領域の電磁波の光の反射・散乱によるミラー105などの部品の加熱を防止できる。
請求項（抜粋）：
標的材料をプラズマ化し、該プラズマからX線を輻射させるX線源と、該X線源を収容する真空容器と、を具備するX線発生装置であって、上記真空容器の内側に、赤外からX線領域の電磁波に対して吸収率が高い材料で形成された内壁が設けられていることを特徴とするX線発生装置。
IPC (7件)：
H05G 2/00 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/22 ,  G21K 5/02 ,  H01L 21/027 ,  H05G 1/00 ,  G21K 7/00
FI (7件)：
G03F 7/20 503 ,  G03F 7/22 H ,  G21K 5/02 X ,  G21K 7/00 ,  H05G 1/00 K ,  H01L 21/30 531 S ,  H05G 1/00 R
Fターム (17件)：
2H097AA02 ,  2H097AB09 ,  2H097BA10 ,  2H097CA01 ,  2H097CA15 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  4C092AA06 ,  4C092AB30 ,  4C092AC09 ,  4C092BD01 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01 ,  5F046GB05 ,  5F046GB07 ,  5F046GC03 ,  5F046GD10
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • X線発生装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-266130   出願人：株式会社ニコン
  • 特開平2-267896
  • 特開平2-267896
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