電気インピーダンス整合システムとその方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-512287
公開番号（公開出願番号）：特表2001-516954
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：

【要約】改良された整合システムを持つ、基板を処理するシステムと方法である。整合制御器(1)が多数の整合ネットワーク(MNA,MNB,MNC)を制御するのに利用され、これによって改良された、より高速な安定した整合を提供する。整合制御器(1)も、自動的に、プラズマ開始の間と直後に必要な初期整合条件を設定し、それによってより高速な、より信頼性のある初期整合と減らされた操作者の関与を提供する。本システムは、また、より正確な位相と振幅検出のために、改良された器具と、出力検出器(6A,6B,6C)の改良された装置を提供する。整合ネットワークの中の調整可能な素子の信頼できる制御のための回路と、調整可能な回路を損傷から守る装置とを含む整合ネットワーク(MNA,MNB,MNC)も提供される。

請求項（抜粋）：

基板を処理するシステムであって、基板が処理されるチェンバーと、少なくとも一つの供給源と、上記チェンバー内のある場所に結合される第1の電気的部品であり、上記の少なくとも一つの供給源から出力を受信することを特徴とする第1の電気的部品と、上記チェンバー内のある場所に結合される第2の電気的部品であり、上記の少なくとも一つの供給源から出力を受信することを特徴とする第2の電気的部品と、上記の少なくとも一つの供給源と上記の第1の電気的部品との間の第1の整合ネットワークであり、第1の電気的部品のインピーダンスを上記の少なくとも一つの供給源のインピーダンスに整合させることを特徴とする第1の整合ネットワークと、上記の少なくとも一つの供給源と上記の第2の電気的部品との間の第1の整合ネットワークであり、第2の電気的部品のインピーダンスを上記の少なくとも一つの供給源のインピーダンスに整合させることを特徴とする第2の整合ネットワークと、上記の第1の整合ネットワークと上記の第2の整合ネットワークとを結合する整合ネットワーク制御器であって、上記の第1の整合ネットワークと上記の第2の整合ネットワークの動作を制御することを特徴とする整合ネットワーク制御器とを備えることを特徴とするシステム。

IPC (3件)：

H05H 1/46 , H01L 21/3065 , H03H 7/40

FI (4件)：

H05H 1/46 R , H05H 1/46 L , H03H 7/40 , H01L 21/302 B

Fターム (3件)：

5F004BB11 , 5F004BB13 , 5F004CB06

引用特許：

審査官引用 (11件)

プラズマ処理装置の運転方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-254565 出願人：日新電機株式会社
特開平4-346829
可変蓄電器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-300829 出願人：コメットテクニクアクチエンゲゼルシャフト

全件表示

前のページに戻る