特許

J-GLOBAL ID：200903060484721139

ドライエッチング排ガスの処理方法

発明者： 柏田 邦夫 ,  跡辺 仁志 ,  金子 虎一 ,  矢野 慎一
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098461
公開番号（公開出願番号）：特開平6-285332
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【目的】 フッ素系、塩素系、臭素系ガスを用いるドライエッチング排ガス中の毒性ガスあるいは安全上問題となる酸性および酸化性ガスを一段の洗浄によって除去することができるドライエッチング排ガスの処理方法を開発する。【構成】 ハロゲン系ガスを用いるドライエッチンク排ガスの処理方法において、ドライエッチング排ガスを亜硫酸テトラメチルアンモニウム水溶液にテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドおよび/または(重)炭酸テトラメチルアンモニウムを加えた混合水溶液で洗浄することを特徴とするドライエッチング排ガスの処理方法により目的を達成できる。

請求項（抜粋）：

ハロゲン系ガスを用いるドライエッチンク排ガスの処理方法において、ドライエッチング排ガスを亜硫酸テトラメチルアンモニウム水溶液にテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドおよび/または(重)炭酸テトラメチルアンモニウムを加えた混合水溶液で洗浄することを特徴とするドライエッチング排ガスの処理方法。

IPC (3件)：

B01D 53/34 134 ,  B01D 53/34 ZAB ,  C23F 4/00 ZAB