特許
J-GLOBAL ID：200903060490002012
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-068609
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264800
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】結像光学系あるいは撮像手段を動かすことなく、選択された任意の波長ごとで発生する撮像手段上での結像位置のずれを簡単に補正する。【解決手段】照明光を発する光源(1)と、該照明光に基づいて被観察物体(3)を照明するための照明光学系(2)と、照明された前記被観察物体からの光を集光して前記被観察物体の像を形成する結像光学系(4)と、前記被観察物体の像を撮像するための撮像手段(5)と、前記光源と前記撮像手段との間の光路中に配置可能であって前記照明光の波長から任意の波長を選択するための波長選択手段(8)と、前記選択された波長により異なる位置に結像する前記像の位置を、前記撮像手段の撮像面に結像させるための結像位置補正手段(9)とを備える。
請求項（抜粋）：
照明光を発する光源と、該照明光に基づいて被観察物体を照明するための照明光学系と、照明された前記被観察物体からの光を集光して前記被観察物体の像を形成する結像光学系と、前記被観察物体の像を撮像するための撮像手段と、前記光源と前記撮像手段との間の光路中に配置可能であって前記照明光の波長から任意の波長を選択するための波長選択手段と、前記選択された波長により異なる位置に結像する前記像の位置を、前記撮像手段の撮像面に結像させるための結像位置補正手段とを備えることを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
