特許
J-GLOBAL ID：200903060496263063
インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279857
公開番号（公開出願番号）：特開平7-132595
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 小型化、高密度化に適し、インク吐出応答性の高いインクジェットヘッドを廉価に提供すること。【構成】 一端はインク供給路102を介してインク溜り103に連通し、他端はインク滴を吐出するノズル10aに連通した複数のインク圧力室101を有したインクジェットヘッドにおいて、結晶面方位(110)面が表面となる単結晶シリコン基材100には、供給路102と圧力室101の二部位の容積を、実質的に決定する空間102aと101aとを具備しており、シリコン基材100の表面に対して傾斜した二つの(111)面を壁面とする供給路102になる空間102aと、シリコン基材100の表面に対し垂直である、少なくとも二つの(111)面を壁面とする圧力室101になる空間101aとから構成されるインクジェットヘッドである。
請求項（抜粋）：
一端はインク供給路を介してインク溜りに連通し,他端はインク滴を吐出するノズルに連通した複数のインク圧力室を有したインクジェットヘッドにおいて、結晶面方位(110)面が表面となる単結晶シリコン基材には、前記供給路と前記圧力室の二部材の容積を、実質的に決定する空間を具備しており、前記基材の表面に対して傾斜した二つの(111)面を壁面とする前記供給路の空間と、前記シリコン基材の表面に対し垂直である、少なくとも二つの(111)面を壁面とする前記圧力室の空間とから成ることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
