特許

J-GLOBAL ID：200903060498847160

マイクロ機械装置の部品の粘着を防止する方法

発明者： モンテ アラン ダグラス ,  ロバート エム.ウォラス
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-154932
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086969
出願日： 1995年06月21日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】 装置に損傷を与えることなく、マイクロ機械装置の接触する素子の粘着を防止する方法を提供する。【構成】 液体の入っている容器の中に装置が配置され、そしてこの装置の中で接触する素子が、界面活性剤を含有する表面張力の小さな液体の中に浸される。次に、容器が閉じられ、そして表面張力の小さな前記液体とその蒸気相との間に圧力平衡が事実上保持される方式で、この装置の乾燥が行われる。表面張力の小さなこの液体は、過フッ化アルカンのような過フッ化炭化水素の液体であることができる。または、表面張力の小さな液体の代わりに、接触する素子を臨界超過流体にさらして処理を行うことができる。

請求項（抜粋）：

マイクロ機械装置の接触する素子の粘着を防止する方法であって、液体を入れるのに適切である容器の中に前記装置を配置する段階と、界面活性剤を含有する表面張力の小さな液体の中に前記接触素子を浸す段階と、前記容器を閉じる段階と、表面張力の小さな前記液体とその蒸気相との間に圧力平衡を実質的に保持する方式で、前記閉じた容器の中で前記装置を乾燥する段階と、を有する前記方法。