特許
J-GLOBAL ID：200903060501609925
洗浄方法および洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-253120
公開番号（公開出願番号）：特開2007-067254
出願日： 2005年09月01日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】複数の細孔を有する薄膜において、その表面のみならず細孔内に付着した汚れをも確実に除去し得る洗浄方法および洗浄装置を提供すること。【解決手段】本発明の洗浄装置900は、複数の細孔を有する薄膜2を洗浄するための装置であり、チャンバ910と、チャンバ910内に設けられたステージ950と、ステージ950上に配置された容器920と、減圧手段930と、排液手段940と、給液手段960と、各部を制御する制御手段990とを有している。また、ステージ950には、温度調整手段970および振動付与手段980が内蔵されている。洗浄装置900は、容器920に貯留された洗浄液Sに薄膜2を浸漬した状態で、減圧手段930によりチャンバ910内を減圧することにより、洗浄液Sを細孔内に浸透させ、その後、排液手段940により容器920内から洗浄液Sを排液する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の細孔を有する薄膜を洗浄する洗浄方法であって、
前記薄膜を洗浄液に浸漬した状態で、前記洗浄液が配置された周囲の空間を減圧することにより、前記洗浄液を前記細孔内に浸透させ、その後、前記洗浄液と前記薄膜とを離反することを特徴とする洗浄方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304
, B08B 3/04
, B08B 3/08
, B08B 3/10
H01L21/304 642E
, H01L21/304 642D
, H01L21/304 647Z
, B08B3/04 A
, B08B3/08 Z
, B08B3/10 A
, B08B3/10 Z
3B201AA02
, 3B201AA03
, 3B201AB24
, 3B201BB02
, 3B201BB03
, 3B201BB82
, 3B201BB85
, 3B201BB93
, 3B201CD11
