特許
J-GLOBAL ID：200903060504707138
単結晶セラミック静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-098078
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026565
出願日： 1998年03月06日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 高温動作温度で信頼性のある静電チャックを得ることを目的とする。【解決手段】 プロセスチャンバ70内に基板40を保持するための静電チャック20は、単結晶セラミックモノリス25を含み、そこに埋め込まれる電極は、電圧を印加されると、基板40を静電保持する。セラミックモノリス25は、溶融物形成プロセスにより形成される単一の単結晶セラミック又は相互に結合された複数の単結晶セラミックプレート225から作られる。もう1つの実施形態では、本発明は、下地誘電層245上のメッシュ電極240を被覆する単結晶セラミック層235を含む静電チャックに向けられる。コネクタ50は、電圧を電極45に供給するために、単結晶セラミックモノリス25又は下地誘電層245内に延びる。望ましくは、単結晶セラミックモノリシック構造25と単結晶セラミック層235は、単結晶サファイアを含み、電極45は耐熱金属を含む。
請求項（抜粋）：
基板を受け取るための受面を有する単結晶セラミックと、前記単結晶セラミック内に埋め込まれた電極と、プロセスチャンバ内に基板を静電的に保持するために前記電極に電圧を供給するための、前記単結晶セラミックを貫通して延びる電気コネクタと、から成ることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
