特許
J-GLOBAL ID：200903060509057484
ガスレーザ発振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 廣瀬 繁樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-172945
公開番号（公開出願番号）：特開2008-004773
出願日： 2006年06月22日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：
【課題】放電電圧を発生させることなしに、レーザガスを判定する。【解決手段】レーザガスを励起してレーザ光を発生するガスレーザ発振器(2)が、レーザガス用の循環路(9)と、レーザガスを循環路に循環させる循環手段(14)と、循環路におけるレーザガスの圧力を検出する圧力検出手段(16)と、循環手段を駆動する電力を検出する電力検出手段(11)と、循環手段の定常運転時におけるレーザガスの圧力と循環手段の電力との関係をレーザガスの種類毎に記憶する記憶手段(35)と、レーザガス判定手段(31)とを含む。レーザガス判定手段は、循環手段の定常運転時に検出されたレーザガスの圧力および循環手段の電力と、記憶手段に記憶されたレーザガスの圧力と循環手段の電力との関係とに基づいて、レーザガスの種類を判定する。レーザガスが判定できない場合には、レーザ発振器に異常が生じたと判断してもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザガスを励起してレーザ光を発生するガスレーザ発振器において、
前記レーザガス用の循環路と、
前記レーザガスを前記循環路に循環させる循環手段と、
前記循環路における前記レーザガスの圧力を検出する圧力検出手段と、
前記循環手段を駆動する電力を検出する電力検出手段と、
前記循環手段の定常運転時における前記レーザガスの圧力と前記循環手段の電力との関係を前記レーザガスの種類毎に記憶する記憶手段と、
前記循環手段の定常運転時において前記圧力検出手段および前記電力検出手段のそれぞれにより検出された前記レーザガスの圧力および前記循環手段の電力と、前記記憶手段に記憶された前記レーザガスの圧力および前記循環手段の電力の間の関係とに基づいて、前記レーザガスの種類を判定するレーザガス判定手段とを具備するガスレーザ発振器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5F071BB05
, 5F071HH02
, 5F071JJ05
