特許
J-GLOBAL ID：200903060519095970
電子源基板、電子源、画像形成装置及びそれらの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-305818
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162001
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【構成】 基板(1)上に少なくとも素子電極(2),(3)と電子放出部(5)を含む薄膜とで構成される表面伝導型電子放出素子において、少なくとも電子放出部を含む薄膜を形成する該基板表面に、シリコン窒化膜(33)を有することを特徴とする表面伝導型電子放出素子を提供する。また、この表面伝導型電子放出素子を多数個備えた電子源、及びそれを応用した画像形成装置とこれらの作製方法を提供する。【効果】 少なくとも電子放出部を含む薄膜を形成する基板表面にシリコン窒化膜を有することにより、(1)封着工程後の導電性薄膜の抵抗の低下を抑制して、各素子の良好なフォーミングを実施でき、(2)同特性の複数の電子放出素子を使う場合でも同一特性が得られる。さらに、本発明の画像形成装置では、(3)無発光点、輝度ムラのない画像が得られ、(4)安価な青板ガラスを使用でき、低コストで製造できる。
請求項（抜粋）：
基板上に少なくとも素子電極と電子放出部を含む薄膜とで構成される表面伝導型電子放出素子において、少なくとも電子放出部を含む薄膜を形成する該基板表面に、シリコン窒化膜を有することを特徴とする表面伝導型電子放出素子。
IPC (3件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H04N 5/66
