特許
J-GLOBAL ID：200903060519565402
配線パターン検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023509
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072147
出願日： 1992年02月10日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 プリント基板などにおける配線パターンの不良を検査する際に、2値画像で微小図形をあらかじめ除去する前処理を行なう配線パターン検査装置に関するもので、配線パターン上の微小な図形によってエラーを検出してしまうという課題を解決し、検出したくない微小欠陥を穴埋めや削除によって除去することによって検出の対象から取り除き,しかもその微小欠陥以外の配線パターンには影響を及ぼさない配線パターン検査装置を実現することを目的とする。【構成】 プリント基板の配線パターン検査装置における2値画像において、検出したくない微小図形のみを、微小図形除去手段である縮退処理202〜205及び膨張処理206によってあらかじめ除去し,除去したい微小図形以外の配線パターンには影響を及ぼさない過剰検出の無い欠陥検査が可能となる。
請求項（抜粋）：
プリント基板上に形成された配線パターンを光学的に検知し、光電変換する画像入力手段と、前記画像入力手段からの濃淡画像を2値画像に変換する2値化手段と、前記2値化手段からの2値画像を任意のn画素縮退処理し、縮退画像を任意のm画素膨張処理した画像と前記2値化手段からの2値画像との論理積をとる第1の微小図形除去手段と、前記第1の微小図形除去手段からの2値画像から配線パターンの欠陥を検出する欠陥検出手段とを具備した配線パターン検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/62 405
, H01L 21/66
