特許
J-GLOBAL ID：200903060520369412
固体撮像素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-108934
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090546
出願日： 1991年04月12日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【構成】 感光部[(a)図]においては、遮光用金属膜9a下の層間絶縁膜(8aのみ)を薄くし、配線部[(b)図]においては、配線用金属膜9b下の層間絶縁膜を8aと8bを用いて厚く形成する。【効果】 感光部においては、層間絶縁膜が薄いため、光電変換領域3外に漏れ込む光が少なくなりスミアリングが抑制される。配線部においては、層間絶縁膜が厚いため、配線用金属膜下の半導体領域が反転し、配線容量が著しく増加したり、寄生MOSトランジスタが動作してしまうという欠点が抑制される。
請求項（抜粋）：
複数の光電変換領域と、該光電変換領域で蓄積された光電変換電荷を転送するための電荷転送領域とを有する感光部と、前記感光部上で遮光膜として機能し、他の領域上で配線層として機能する金属膜と、を備える固体撮像素子において、配線層として機能する金属膜下の層間絶縁膜の膜厚は、遮光膜として機能する金属膜下の光電変換領域付近の層間絶縁膜の膜厚より厚いことを特徴とする固体撮像素子。
引用特許：
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