特許

J-GLOBAL ID：200903060520444953

超臨界流体汚染モニタ

発明者： エドワード・エス・ディ・ミリア ,  ダーレル・エー・グライチョーフ ,  トーマス・イー・ホワイティング
出願人/特許権者： ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010281
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264430
出願日： 1993年01月25日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、超臨界流体流を使用して汚染物質を洗浄または抽出する処理において処理の終了を確認するために超臨界流体流に存在する汚染物質の量の変化を監視するシステムを得ることを目的とする。【構成】 ライン32を流れる超臨界流体流から毛細管50により超臨界流体の一部を取出し、それをサンプル流として容器46内の汚染物質測定領域48に導入し、圧力解放バルブ58によって測定領域48内の圧力をサンプル流を気体に変換するのに必要なレベル以下に維持し、サンプル流に存在する汚染物質は非気体の形態で残され、サンプル流により測定領域に導入された汚染物質の量の変化を水晶マイクロバランスシステム62によって測定し、超臨界流体流中の汚染物質の量の変化を監視することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

超臨界流体流中に存在する汚染物質の量の変化を監視するシステムにおいて、超臨界流体流から少なくとも部分的に超臨界流体を取出し、それをサンプル流として汚染物質測定領域に導入するサンプリング手段と、前記サンプル流を気体に変換するのに必要なレベル以下に前記測定領域内の圧力を維持し、前記サンプル流に存在する前記汚染物質を非気体の形態で残す圧力解除手段と、前記サンプル流により前記測定領域に導入された汚染物質の量の変化を測定し、超臨界流体流中の汚染物質の量の変化を監視するように設けられている水晶マイクロバランスシステムとを備えていることを特徴とする汚染物質の量の変化の監視システム。