特許

J-GLOBAL ID：200903060521468562

ノズルプレートの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法

発明者： 亀井 宏行
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-048734
公開番号（公開出願番号）：特開2004-255696
出願日： 2003年02月26日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】高密度のノズル開口を形成し、且つ均一な接着を行うことができると共に接着強度を向上することができるノズルプレートの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル開口21を有し、該ノズル開口21と連通する流路が形成された流路形成基板に接合されるノズルプレート20の製造方法であって、前記ノズルプレート220に液滴吐出側とは反対側の面から複数の前記ノズル開口121を穿設する工程と、前記ノズルプレート220の両面を研磨により平坦化する工程と、前記ノズルプレート220の液滴吐出側とは反対側の面をブラスト加工することにより表面粗さRaを50〜100nmにする工程とによりノズルプレート20を製造する。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

液滴を吐出する複数のノズル開口を有し、該ノズル開口と連通する流路が形成された流路形成基板に接合されるノズルプレートの製造方法であって、 前記ノズルプレートに液滴吐出側とは反対側の面から複数の前記ノズル開口を穿設する工程と、前記ノズルプレートの両面を研磨により平坦化する工程と、前記ノズルプレートの液滴吐出側とは反対側の面をブラスト加工することにより表面粗さRaを50〜100nmにする工程とを具備することを特徴とするノズルプレートの製造方法。

IPC (4件)：

B41J2/135 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16

FI (3件)：

B41J3/04 103N ,  B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A

Fターム (8件)：

2C057AF33 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AP13 ,  2C057AP22 ,  2C057AP25 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14