特許

J-GLOBAL ID：200903060524679114

静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置

発明者： 黒田 隆彦
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-155484
公開番号（公開出願番号）：特開2003-340796
出願日： 2002年05月29日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：

【要約】【課題】 振動板と電極との吸着防止のための電極形状の加工性及び信頼性が十分でない。【解決手段】 ノズル孔4が連通する吐出室6の1つの壁面を形成する振動板14とこれに対向する電極15とを備え、振動板14の電極側表面には凸部17を形成し、電極15の振動板側表面には凹部18を形成し、更に振動板14の電極側表面及び電極15の振動板側表面に絶縁膜19、20を形成した。

請求項（抜粋）：

変形可能な振動板とこの振動板に対向する電極とを有し、前記振動板を静電力で変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記振動板側表面及び前記電極側表面のいずれか一方に凸部を、他方に凹部を有することを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (4件)：

B81B 3/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H02N 1/00

FI (3件)：

B81B 3/00 ,  H02N 1/00 ,  B41J 3/04 103 A

Fターム (5件)：

2C057AG37 ,  2C057AG53 ,  2C057AG54 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15