特許

J-GLOBAL ID：200903060529912917

被検査物体の表面検査方法

発明者： 岡部 明彦
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-366685
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166816
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】 走査線速度一定方式において、表面検査不能であった中心及び中心近傍の表面検査を実現できる被検査物体の表面検査方法を提供する。【解決手段】 本発明では、円板状の被検査物体の中心Oのまわりに回転させて、表面検査不能の中心及び中心近傍以外の外周部の1回目の表面検査を行う(従来表面検査)。次に、ディスク状の被検査物体の中心Oと回転中心O ́をずらして、1回目の表面検査で表面検査が出来なかった被検査物体の中心O及び中心Oの近傍を含む2回目の表面検査を行う。1回目、2回目の表面検査結果の合成により被検査物体の中心及び中心近傍を含む全面検査を実現する。

請求項（抜粋）：

走査面が円板状の被検査物体を回転させながら前記走査面に水平な方向に移動させ、前記走査面から所定間隔を空けて設置された光源から前記被検査物体の表面を一定の走査線速度で光を照射し、前記走査面から所定間隔を空けて設置されセンサに前記照射された光の反射光を入射させて表面検査を行う被検査物体の表面検査方法であって、前記被検査物体を該被検査物体の中心のまわりに回転させながら前記表面検査を行い、前記被検査物体を該被検査物体の中心と異なる回転中心のまわりに回転させながら前記表面検査を行うことを特徴とする被検査物体の表面検査方法。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/95 ,  G11B 5/84 ,  G11B 7/26 521

FI (4件)：

G01B 11/30 Z ,  G01N 21/95 A ,  G11B 5/84 C ,  G11B 7/26 521

Fターム (21件)：

2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF23 ,  2F065FF41 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065UU06 ,  2G051AA71 ,  2G051BA20 ,  2G051CA20 ,  2G051CB01 ,  2G051DA08 ,  5D112JJ03 ,  5D121AA02 ,  5D121DD20 ,  5D121HH01