特許

J-GLOBAL ID：200903060530261326

モノリシック多層圧電アクチュエータおよびその製造方法

発明者： ディーター クラマー ,  ハンス ヘレブラント ,  カール ルビッツ
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-537565
公開番号（公開出願番号）：特表2000-500925
出願日： 1997年04月03日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】多層構造をとり2よりも大きい高アスペクト比をもつモノリシックな圧電アクチュエータを実現するため、複数の小さい積層体から成るアクチュエータを多層構造で構成する。いっしよに焼結を行うことで、良好な圧電特性をもちながら機械的強度の改善されたモノリシックな圧電アクチュエータが形成される。

請求項（抜粋）：

モノリシックな多層構造をもつ圧電アクチュエータの製造方法において、 厚さ20〜200μmであり結合剤を含む圧電セラミック生フィルム(5)の一方の側に、電極材料(3)から成る層を印刷し、 印刷された圧電セラミック生フィルムを緩く上下に積み重ねて最大で3mmの高さの第1の積層体を形成し、該積層体において圧電セラミック生フィルムと電極材料が交互の順序で生じるように積み重ね、 前記第1の積層体を1軸の押圧により成層被着させて第1の複合体を形成し、 温度を上昇させて該第1の複合体から結合剤を取り除き、 結合剤の取り除かれた複数の複合体(FT,MT,KT)を、全高が5mmよりも高くなるよう上下に積み重ね、1軸の圧力下で焼結させて、所望の個数の個別層を有する圧電アクチュエータを形成することを特徴とする、 圧電アクチュエータの製造方法。

FI (2件)：

H01L 41/08 S ,  H01L 41/08 Q

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-051615
  
• 特開昭63-288074
  
• 特開平4-264784