特許
J-GLOBAL ID：200903060530440646
波長可変型干渉光フィルタ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 宜喜 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-092376
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281812
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 入射光のうち特定の波長成分を分離し、波長を選択する狭帯域の干渉光フィルタを用いて任意に波長を選択できる干渉光フィルタ装置を提供すること。【構成】 入射位置に応じて透過光の波長を連続的に変化させる干渉光フィルタ1を直線移動ステージ20上に固定する。そして直線移動ステージ20をモータ21,モータ駆動部22によってキー入力部24からの入力に応じて移動させる。こうすれば透過波長を連続的に変化させることができる。又直線移動ステージ20の位置をステージ位置モニタ部23によってモニタして、波長を表示器14に表示する。更に受光部35,増幅器36,A/D変換器37により透過光のレベルを検出し、表示器15に表示している。
請求項（抜粋）：
使用波長の範囲で光を透過させる物質によって形成されたサブストレートと、該サブストレート上に形成され、所定範囲の波長の光を透過させる光透過率の高い物質によって形成された多層蒸着物質膜とを有し、該多層蒸着物質膜の光学厚さは、前記サブストレートの所定方向に沿って連続的に変化するように構成したものであり、この光フィルタへの入射光の照射位置を該サブストレートの所定方向に沿って変化させることによって所定の波長範囲で透過光の波長を連続的に変化させる偏波面無依存型の波長可変型干渉光フィルタと、前記波長可変型干渉光フィルタを保持し、所定方向に直線的に移動させ、入射光の前記波長可変型干渉光フィルタへの照射位置を連続的に変化させる直線移動ステージと、前記波長可変型干渉光フィルタの移動方向を入力する波長移動入力手段と、前記波長移動入力手段による入力時に前記直線移動ステージを直線的に駆動する駆動手段と、を具備することを特徴とする波長可変型干渉光フィルタ装置。
IPC (2件)：
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