特許

J-GLOBAL ID：200903060541930424

非晶質カーボン膜の硬化方法

発明者： 佐藤 則忠 ,  石渡 統
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-118850
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333916
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】表面保護膜として用いられる非晶質カーボン膜の硬度をさらに高める。【構成】非晶質カーボン膜を成膜後、表面を水素プラズマにさらして、カーボン原子の周囲のダングリングボンドと結合させることにより硬度を約20%高める。

請求項（抜粋）：

基板上に成膜した非晶質カーボン膜の表面を水素プラズマにさらすことを特徴とする非晶質カーボン膜の硬化方法。

IPC (6件)：

H01L 21/314 ,  C23C 14/58 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/316 ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31