特許
J-GLOBAL ID:200903060542555104

リードフレームのめっき方法およびめっき装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小西 淳美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-325912
公開番号(公開出願番号):特開平10-152795
出願日: 1996年11月22日
公開日(公表日): 1998年06月09日
要約:
【要約】【課題】 複数のリードフレームを帯状の金属板素材の長手方向に配列させて設けているリードフレーム製品に対し、帯状の状態のまま、めっき処理用マスク作成の為の電着レジスト皮膜の製版およびめっき処理を一貫して連続して行え、且つ、品質的にも対応できる方法および装置を提供する【解決手段】 帯状の金属板素材に保持されたリードフレーム製品の搬送方向に沿い、順に、(A)外形加工されたリードフレーム製品に脱脂、洗浄等の処理を施す前処理工程と、(B)感光性の電着レジスト皮膜を電着によりリードフレーム製品の表面に形成する皮膜形成工程と、(C)電着レジスト皮膜の所定領域を露光する露光工程と、(D)現像処理を行い、電着レジスト皮膜の所定領域を除去し、該所定領域のリードフレーム製品の表面を露出させる現像処理工程と、(E)リードフレーム製品の露出された表面にめっきを施すめっき処理工程と、(F)電着レジスト皮膜を剥離除去するレジスト剥離処理工程と、(G)電着レジスト皮膜の残りを除去し、洗浄を行う後処理工程とを施すものである。
請求項(抜粋):
帯状の金属板素材を孔開け外形加工して得られた、帯状の金属板素材に連結部を介してリードフレームが保持されているリードフレーム製品で、複数のリードフレームを帯状の金属板素材の長手方向に配列させて設けているリードフレーム製品に対し、該リードフレーム製品を連続的にないし間欠的に搬送させながら、帯状の状態のままで各リードフレームのインナーリード先端等所定の領域のめっきを行うリードフレームのめっき方法であって、リードフレーム製品に対し、帯状の金属板素材に保持されたリードフレーム製品の搬送方向に沿い、少なくとも順に、(A)外形加工されたリードフレーム製品に脱脂、洗浄等の処理を施す前処理工程と、(B)感光性の電着レジスト皮膜を電着によりリードフレーム製品の表面に形成する皮膜形成工程と、(C)電着レジスト皮膜の所定領域を露光する露光工程と、(D)現像処理を行い、電着レジスト皮膜の所定領域を除去し、該所定領域のリードフレーム製品の表面を露出させる現像処理工程と、(E)リードフレーム製品の露出された表面にめっきを施すめっき処理工程と、(F)電着レジスト皮膜を剥離除去するレジスト剥離処理工程と、(G)電着レジスト皮膜の残りを除去し、洗浄を行う後処理工程とを施すものであることを特徴とするリードフレームのめっき方法。
IPC (2件):
C25D 7/12 ,  H01L 23/50
FI (2件):
C25D 7/12 ,  H01L 23/50 D

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