基板洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-119110
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306886
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】ウエハ等の基板の裏面全体を洗浄することのできる基板洗浄装置を提供する。【解決手段】被洗浄物載置台1の上に置かれた基板2との間に負圧を発生させて基板2を保持する基板保持装置4と、この基板保持装置4に保持された基板2の裏面に洗浄流体を噴出する洗浄流体噴出装置27とを具備してなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被洗浄物載置台の上に置かれた基板に対して流体を噴出し、前記基板を洗浄する洗浄流体噴出手段と、前記流体によって前記基板との間に負圧を発生させて前記基板を保持する基板保持手段とを具備してなることを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 , B08B 3/02

FI (2件)：

H01L 21/304 341 N , B08B 3/02 B

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