特許
J-GLOBAL ID：200903060543982170
光学的形状測定装置及び光学的形状測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-293648
公開番号（公開出願番号）：特開2004-003930
出願日： 2002年10月07日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】測定対象物の形状を高精度に測定することができる光学的形状測定装置及び光学的形状測定方法を提供する。【解決手段】遅延積分型カメラ30は、周期的に変調された線状レーザ光が測定対象物に照射されたときに、その反射光を撮像して光切断画像を出力する。各光切断画像から縞画像が得られる。縦方向の各位置でのスライス縞画像データは、直交正弦波発生部53からの基準正弦波データと乗算され、次に、ローパスフィルタ部54a,54bで、縞周波数成分及びその高調波成分が除去される。その除去結果データに基づいて、位相算出部55は各スライス縞画像データの位相のずれを算出し、振幅算出部56が各スライス縞画像データの振幅を算出する。位相連続化処理部58は、振幅画像に基づいて欠損領域を特定し、その欠損領域に対応する領域がマスクされた位相画像に基づいて位相のずれを連続化する。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
周期的に変調された線状レーザ光を測定対象物の表面に照射する照射手段と、
前記測定対象物に対する前記線状レーザ光の照射位置を連続的にずらしながら、前記線状レーザ光が前記測定対象物に照射されたときに、前記測定対象物からの反射光を撮像して光切断画像を出力する遅延積分型の撮像手段と、
前記各光切断画像から構成される縞画像を記憶する記憶手段と、
互いに直交する二つの基準正弦波データを発生し、前記各基準正弦波データを、縞に平行な方向の各位置において縞に直交する方向に沿っての前記縞画像の濃度分布を表すスライス縞画像データに乗算する直交正弦波発生手段と、
前記直交正弦波発生手段で得られた二つの乗算結果データの各々から、縞に直交する方向に沿っての縞周波数成分及びその高調波成分を除去する除去手段と、
前記除去手段で得られた二つの除去結果データに基づいて前記各スライス縞画像データについて各位置における基準正弦波に対する縞の位相のずれを算出する位相算出手段と、
前記位相算出手段で得られた位相のずれを表す位相画像に基づいて位相のずれが不連続になっている位置を検出し、その検出した位置における位相のずれを滑らかに繋ぐことにより位相のずれを連続化する位相連続化処理手段と、
前記位相連続化処理手段で連続化された後の位相のずれを表す画像を出力する出力手段と、
を具備することを特徴とする光学的形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2F065AA49
, 2F065BB11
, 2F065BB15
, 2F065CC06
, 2F065FF02
, 2F065FF04
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065QQ00
, 2F065QQ03
, 2F065QQ04
