特許

J-GLOBAL ID：200903060546919844

画像処理装置

発明者： 野上 大 ,  久木原 美智男
出願人/特許権者： 日立電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-198745
公開番号（公開出願番号）：特開平10-040389
出願日： 1996年07月29日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 基準パターンの検出位置を設定する際、位置決め精度の低さ、メモリ分解能不足等から生じる検査位置合わせ設定誤差を低減し、パターン位置検出精度の向上を図る。【解決手段】 撮像されたX軸とY軸の十字型アライメントマークを含む画像を電気的に拡大して検出し、モニタ上に表示し、予め記憶されている基準パターンとの位置合わせを行うようにし、検出位置の設定精度を向上させるようにした。

請求項（抜粋）：

位置認識を行なう画像処理装置において、撮像されたX軸とY軸の十字型アライメントマークを含む画像を電気的に拡大して検出し、モニタ上に表示し、予め記憶されている基準パターンとの位置合わせを行うようにし、検出位置の設定精度を向上させるようにしたことを特徴とする画像処理装置。

IPC (3件)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/88 ,  G09G 3/36

FI (3件)：

G06F 15/62 405 C ,  G01N 21/88 F ,  G09G 3/36